26. 用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析

　　摘要：为实现非球面元件表面面形的高精度检测，提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法，比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣，并给出了检测Φ187.72mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例，分析了影响全息检测精度的各项误差源，计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.75nm，实现了非球面元件面形的高精度检测。

　　作者： 冯婕，邓超，邢廷文

　　27. 采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析

　　摘要：随着现代工业和科学技术的飞速发展，特别是近代大规模集成电路技术的不断提高，对系统精度的要求日益提高。在光刻系统中，越来越短的特征尺寸要求我们使用更高精度的光刻物镜。在这之前我们需要更高精度的检测技术来满足加工及系统集成的需要。高精度移相干涉仪的测量结果包含了待测面和参考面的误差，移相干涉测量法的测量精度受限于参考面的精度。绝对测量方法通过移除参考面的误差，从而达到提高测量精度的目的。回顾了光学平面面形绝对测量方法，重点描述了基于奇偶函数的绝对测量方法。分析了旋转角度误差对测量结果的影响，通过旋转更小的角度求出了高阶面形拟合分量，给出了求高阶面形拟合分量的通项公式。

　　作者： 贾辛，邢廷文，魏豪明，李云

　　28. 三轴离子束抛光系统驻留时间算法

　　摘要：在光学离子束抛光工艺中，驻留时间求解是一个关键问题。多数驻留时间求解算法要求离子束在工件表面的材料去除速率在加工过程中保持不变。然而，离子束在工件表面的材料去除速率与离子束入射角度有关。为此，在加工曲面工件时，通常采用精密五轴联动运动平台对离子源的运动及姿态进行实时控制，使得在加工曲面工件时离子束相对工件表面的入射角度始终保持不变，从而保证去除函数在整个离子束抛光过程中保持不变。提出了一种基于仿真加工的迭代驻留时间求解算法，在求解驻留时间的过程中考虑到入射角度带来的去除速率变化，从而使得在离子束抛光系统中只需采用三轴运动控制平台对离子源的运动进行控制，而不再需要对离子源的姿态进行实时控制。入射角度与去除速率曲线可以事先通过实验测得。与五轴运动平台相比，三轴平台更稳定、经济且易于控制。仿真结果表明，算法在三轴离子束抛光系统中具有较好的适用性。

　　作者： 李云，邢廷文，许嘉俊，徐富超，倪磊

　　29. 可见光下3维针孔的衍射波面分析

　　摘要：针孔是相移点衍射干涉仪中的关键元件。为了探究针孔的尺寸、制造针孔的材料以及材料的厚度对衍射波面质量的影响，确定点衍射干涉仪的测量精度，采用时域有限差分法分析获得了近场数据，并利用瑞利-索末菲矢量衍射理论将近场数据外推得到远场数据，通过远场处理数据分别对TM和TE偏振光入射针孔时，针孔的大小、材料以及材料厚度对衍射波波面质量的影响进行了理论分析和仿真模拟，得到了相应变化曲线图。结果表明，若要获得理想的球面波，材料厚度不能低于300nm，适当的孔径尺寸可以降低衍射波面误差；当孔径为300nm左右时，波面的均方根误差可达到λ/1000（λ=632.8nm）。这一结果对相移点衍射干涉仪的设计和应用是有帮助的。

　　作者： 王瑞林，邢廷文，谢伟民

　　30. 校正激光光束指向漂移的算法研究

　　摘要：为了获得稳定的激光光束，需要对其随机漂移进行校正。以光束传递系统中快速反射镜校正脉冲激光器自身指向漂移的过程为例，采用一种基于移动平均值校正原理的算法，对加载地面抖动前后的校正效果进行了仿真模拟。仿真结果显示，该算法可以使指向漂移经过长距离传输后引入的位置偏移显著降低；校正后的移动平均值相对于校正前的有较大降幅，最优处约降至原来的n-1/2(n为一个窗口内的脉冲数)；校正后的移动标准偏差值也明显下降。结果表明，该算法的关键在于提出合适的补偿量，具有实用性，可以实现对激光光束指向漂移的闭环实时校正。

　　作者： 张丽霞，林妩媚，廖志杰，王瑞林