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【聚焦】二次电子探测器(SED)在扫描电镜中不可或缺 E-T探测器是主流产品

2024-04-15 16:28
新思界网
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二次电子通常采用闪烁体-光电倍增管探测器(闪烁体探测器)进行探测,背散射电子通常采用电子背散射衍射(EBSD)探测器进行探测。

二次电子探测器(SED),是应用在扫描电子显微镜(扫描电镜,SEM)中,检测收集二次电子的装置。二次电子是入射电子与样品表面发生非弹性散射产生的低能量电子,可以呈现样品表面形貌。

扫描电镜工作时,电子枪产生电子束,电子束照射样品产生信号,探测器对信号进行检测收集,通过计算机处理获得图像和数据,实现样品特征分析。扫描电镜通常需要探测的信号包括二次电子(SE)、背散射电子(BSE)两种。二次电子通常采用闪烁体-光电倍增管探测器(闪烁体探测器)进行探测,背散射电子通常采用电子背散射衍射(EBSD)探测器进行探测。

E-T探测器(ETD),是一种闪烁体-光电倍增管探测器,一般装配在样品台的一侧,工作时,二次电子先到达闪烁体,被转换为光信号,再传输给光电倍增管,经放大后转换为电信号,最后输送给计算机进行处理。

E-T探测器输送的信号强度与探测到的电子数量成正比,具有信号收集效率高、延迟低、噪声低等特点,于20世纪60年代被开发问世。E-T探测器是现阶段最为常见的二次电子探测器产品,通常所说的二次电子探测器即为E-T探测器。

除E-T探测器外,还有一类不常见、可以选配的二次电子探测器,由于通常安装在物镜内或者镜筒内,被称为物镜内二次电子探测器、镜筒内二次电子探测器,其工作原理与E-T探测器相似。物镜内二次电子探测器依靠物镜电磁场对二次电子进行收集,由于工作距离近,其探测效率更高、分辨率更高,可以进一步提高扫描电镜的成像质量。

根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国二次电子探测器(SED)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,二次电子探测器实际应用时,在常规扫描电镜中,E-T探测器为标配,在高分辨率场发射扫描电镜中,会同时配置E-T探测器与物镜内/镜筒内二次电子探测器。扫描电镜是研究材料三维表层构造的重要仪器,应用领域不断拓宽,需求持续增长,2023年全球市场规模达到36.6亿美元,这有利于二次电子探测器行业发展。

新思界行业分析人士表示,在全球范围内,二次电子探测器生产商主要有美国赛默飞世尔(ThermoFisher)、日本日立高新(Hitachi High-Technologies)、法国Orsay Physics、捷克TESCAN等。总的来看,受益于需求不断扩张,扫描电镜产销量不断增长,二次电子探测器作为其不可或缺的重要组成部分,市场前景良好。

       原文标题 : 【聚焦】二次电子探测器(SED)在扫描电镜中不可或缺 E-T探测器是主流产品

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