紫外线传感器用于紫外准分子灯清洁微电子产品时紫外辐射强度监测

2023-10-25 11:04

在工业领域作业中，最常用的准分子波长是172nm，其能量足以直接裂解所有有机分子的主要键，除了碳和氧之间的键和一些无机氧化物之间的键，这使其成为表面改性、光清洗和光固化的绝佳选择。

准分子灯，又称紫外线准分子灯，是利用准分子气体比例，获得172nm、222nm或308nm等不同单色波长的高强度准分子紫外光，准分子发射的紫外光具有单光谱特性。窄的谱线和单色的紫外线辐射光谱，使其能够使用更集中的功率进行光处理。

与普通汞紫外线灯相比，准分子紫外线灯功率极大，靶向更为精准，无汞，绿色环保，可回收，无二次污染。它们克服了现有的技术瓶颈，具有能量密度高、反应温度低、反应时间短等特点，在微电子、医药、、生态环境保护等领域得到了广泛而独特的应用。

准分子灯最常见的应用是清洁微电子产品。当紫外线照射到固体表面后，表面污染物的有机分子被强烈的光能切断和氧化，进而分解为氧和氢等挥发性物质，最后挥发消失，清洗后的表面清洁度极高。

在使用紫外准分子灯进行清洁时要注意紫外线的辐射强度，辐射强度的大小对最终的清洗效果是有一定影响的，辐射强度低清洁效果不理想，工采网技术工程师推荐使用紫外线传感器来进行UV准分子灯的紫外线辐射强度监测，如工采网代理的韩国GENICOM 紫外线传感器 - GFUV-T10GD-L，以氮化镓铝为基础的材料，Schottky-type光电二极管，光伏模式操作；适用于远紫外线监测、准分子灯监控。

原文标题 : 紫外线传感器用于紫外准分子灯清洁微电子产品时紫外辐射强度监测