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为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机?因为它把路堵了

众所周知,目前全球只有ASML一家能够制造EUV光刻机,像尼康、佳能等巨头,还停留在DUV光刻机上。

更有意思的是,尼康、佳能现在基本上不再研究EUV光刻机,像佳能开始转方向,转向NIL纳米压印技术上去了,想要换条道。

为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机?因为它把路堵了

此外,其它对光刻机有野心的厂商,基本上也没怎么去研发EUV光刻机,转向去研究BEL电子束技术、X射线光线、DSA自组装等技术去了。

那么这是为什么呢?大家都不和ASML一样,从DUV到EUV光刻机,按照这样的成功的方向走呢?其实原因非常简单,那就是ASML在研发出EUV光刻机后,其实已经将这条路堵上了,其它人要打通这条路,基本上无望。

为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机?因为它把路堵了

一台EUV光刻机,按照ASML的说法,至少有超过45万个零件,其中15%是ASML自研的,另外的85%是采购的,ASML是融合全球的供应链,然后再组装出来。

EUV光刻机中,最核心的是光源、物镜系统、工作台。其中光源部分,ASML收购了美国企业Cymer,再与德国TRUMPF公司,自己研发出来的。除了这三大厂商外,目前全球没有一家厂商,能够搞定这套光源系统。

而物镜系统就更难了,全球只有蔡司有这种光学技术,而蔡司与ASML捆绑,只对ASML供货,因为这项技术是双方共研的。

为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机?因为它把路堵了

所以如果其它厂商,要造出EUV光刻机,就要找到可以媲美蔡司的光学厂商,还要找到能够制造紫外线光源的厂商,这两项都是难上加难,可以说基本上没什么希望。

而EUV光刻机市场,并不是那么大,因为它已经不是简单的几个企业就能玩的转的,需要一整个利益链条,已经不是“商业逻辑”可以覆盖的。

可以说,整个EUV光刻机体系,也基本只能供得起一家ASML,而ASML不仅将下游客户捆绑上了,还已经把全球能够制造出来核心零件的厂商,与自己捆绑上了,聪明的搞“客户联合方案”,把其它厂商研发EUV的路就堵住了。

为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机?因为它把路堵了

所以就算其它光刻要厂商,有这个想法,也能能换条道,换成NIL技术、DSA技术,或BEL电子束技术,不去碰EUV技术,因为EUV这条路,碰不得,走不通。

       原文标题 : 为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机?因为它把路堵了

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

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