江苏先导微电子首台12寸晶圆级光学磁控溅射设备正式交付！

2026-08-03 17:34

近日，江苏先导微电子自主研发的首台Star600－EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在徐州高新区生产基地完成组装联调及自动化与工艺验证，正式交付国内头部晶圆厂。

该设备专为12寸晶圆光学镀膜量产设计，采用孪生旋转阴极向上溅射（Sputter－up）结构，有效降低颗粒污染，片内膜厚均匀性≤±0.3％，片间稳定性优于0.3％，可稳定支撑红外截止滤光片、AR增透膜、光波导介质膜及100层以上窄带滤光片等精密光学薄膜的量产，无波长偏移，良率可靠。

设备集成原位宽光谱在线监测系统，实现膜厚实时闭环修正；标配EFEM前端模块，兼容12寸FOUP晶圆盒，真空机械手完成盒到盒全自动传输，并支持SECS／GEM与MES互联，满足7×24小时无人值守连续生产。模块化工艺设计配备多工位独立磁控阴极，可自由切换靶材，并选配离子源、等离子预处理及低温温控平台，兼顾研发灵活性与量产稳定性。

江苏先导依托母公司先导科技集团的产业链优势，构建了“高纯靶材原料—镀膜设备整机—薄膜工艺开发”垂直一体化能力，可结合集团光学靶材资源，为客户同步完成靶材匹配与工艺配方开发，提供一站式定制化镀膜方案。

此次交付是国产高端光学镀膜装备从技术追赶到产业化应用的关键跨越，未来将持续助力精密光学、晶圆级光学及半导体产业高质量发展。