总投资7.5亿元！光电子先导院建设的8英寸硅光平台正式通线

2025-11-05 10:30

11月4日，陕西光电子先导院科技有限公司（简称“光电子先导院”）总经理杨军红宣布，“8英寸先进硅光集成技术创新平台”（简称“8英寸硅光平台”）已正式通线，可为光子产业各类创新主体提供光电、硅光芯片的研发、中试服务。

该平台总投资7．5亿元，于2023年底启动建设，引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，配备了光刻、刻蚀等60余台（套）关键核心设备，在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上，开发90nm以上先进工艺，已构建起自主可控的先进工艺体系。

随着硅光平台正式通线，光电子先导院已经形成了‘6英寸化合物光电芯片＋ 8英寸硅光芯片’的双平台格局，成为国内少数具备全链条中试能力的创新载体，可有效缩短光电、硅光客户的流片周期，降低研发成本。

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