昊然伟业：德国角分辨散射测量系统

2022-04-22 15:42

德国Fraunhofer IOF以激光为光源，测量角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF，双向透射分布BTDF，散射损耗，反射，透射等；对表面、薄膜以及材料性质进行表征和分析；可进行在线或离线测量。

特征及参数

可测量参数：散射光（角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF，双向透射分布BTDF，散射损耗），θ－2θ，反射，透射

全3D球面测量

入射角，散射角（方位角和极角）波长以及光源的偏振态均可调整

可对样品表面进行区域光栅扫描

桌面型系统（＜1m）

动态范围：15个数量级

等效噪声ARS：低至1×10－9 sr－1

相对粗糙度的分辨率：＜0．1nm

波长：320nm、405nm、532nm、633nm、640nm、808nm和1064nm（其他需求波长）

外部光源耦合的光纤端口（例如：可调超连续光源）

方便操作的测量及分析软件

可分析值：粗糙度，PSD等

应用

对表面，薄膜以及材料性质进行表征和分析

产品质量检测

光学性能分析

粗糙度分析

原文标题 : 德国Fraunhofer IOF 角分辨散射测量系统

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