致力提供深度光谱解决方案，复享光学携多款光谱设备亮相光博会

2021-03-19 16:26

3月17－19日，慕尼黑（上海）光博会在上海新国际博览中心举办。上海复享光学股份有限公司携高性能光谱模组和光芯片检测系统等亮相光博会，致力于为用户提供全面而智能的深度光谱解决方案。

复享光学现场展位照片

21世纪是智能化时代，从集成电芯片，到集成光芯片，再到生物芯片，各类芯片应运而生。微纳制造作为芯片的基础，是保障整个产业的关键。在光刻、刻蚀、检测等微纳制造过程中，有超过一半的工艺都与光学技术相关，而其中光谱又具有核心的作用。

通俗来说，光谱就是解析光的技术。光可以携带芯片内部的大量信息，在微纳制造的过程中，通过动态适时地解析光，就可以精确地控制芯片制造的过程，并剔除不良品。传统的光谱技术为物质成分识别而生，重点是解析频率维度的信息。而复享光学自创立之始，就以微纳为核心关注领域，全面发展包括频率、动量、偏振、相位等在内的多维度光谱技术，进而结合神经网络算法，形成了全面而智能的深度光谱解决方案。

光谱检测设备

此次光博会，复享光学参展的产品在集成电路设备中具有广泛应用。无论在膜厚、形貌，还是在刻蚀EP测量过程中，都可以见到光谱设备的身影。复享光学是国内目前仅有的能同时满足以上应用的光谱厂商。

衍射光波导检测设备

衍射光波导是增强现实（AR）产品中最重要的器件，在其制备过程中控制光波导表面的形貌成为提高良率的关键。复享光学提供的光芯片检测系统，可以实现光波导表面形貌关键参数的检测，为AR器件量产提供了有力保障。

目前，公司已累计生产超过10，000台设备，客户广泛覆盖高校院所及众多半导体设备产业头部企业。

谈及本次参会目的，复享光学CEO殷海玮博士表示：“在今天的芯片之中，‘如何利用光’既是要解决的问题，也是答案本身：无论是制造具有更小纳米结构的集成电路，还是设计基于微纳光子结构的集成光芯片，光子学都成为了技术的关键。从光子学出发，再结合擅长大自由度参数处理的神经网络算法，复享将光谱这一应用超过百年的传统光学技术，发展为具有频率、动量、位置、偏振和相位等更多维度的深度光谱技术。基于此，复享光学补上了中国半导体产业在光检测上的重要一环。借此次光博会契机，我们希望加强与同行的交流与合作，共同促进中国半导体产业的快速发展。”