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奥普光电:90纳米光刻机曝光系统为控股股东研发项目

2018-05-02 15:23
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近日,奥普光电在互动平台表示,90纳米光刻机曝光系统是长春光机所联合其他单位在国家专项资金的支持下开展的研发项目,据资料显示,长春光机所为奥普光电控股股东。

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