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德国Frank Wyrowski博士来华参加学术交流

2012-10-10 14:08
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  10月8日,德国耶纳弗里德里西-席勒大学(Friedrich-Schiller-University Jena)Frank Wyrowski博士到上海光机所开展学术交流并作学术报告。

  在题为“Optical Modeling Beyond Ray Tracing”的报告中,Frank Wyrowski博士详细阐述了用于复杂光学系统的仿真方法——场追迹,讨论了场追迹方法在光源设置、光学系统建模和光学参数输出方面的优势,并对高端光刻机偏振照明系统的整体性能仿真提出了有价值的建议。信息光学与光电技术实验室黄惠杰研究员、相关研究人员和研究生参加了学术讨论会。另外,双方就今后拟开展的具体合作领域达成意向。

  Frank Wyrowski博士自1996年起受聘为德国耶纳弗里德里西-席勒大学技术物理学教授、光学工程部主任,目前主要从事基于场追迹方法的光学系统仿真研究,该方法能够实现包含衍射光学元件、微透镜阵列组件、传统光学透镜在内的复杂光学系统的仿真,将为高端光刻机偏振照明系统的整体性能仿真与分析提供一条有效的研究途径。
 

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