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我国“大口径非球面Ronchi光栅检测仪”项目获突破

2012-05-22 10:30
华静一
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  近日,由光电技术研究所承担的中国科学院科研装备研制项目“大口径非球面Ronchi光栅检测仪”顺利通过中科院计划财务局组织的现场验收。验收专家组认真听取了项目负责人的研制工作报告、财务报告、测试组的测试报告和用户使用报告,现场检查了仪器运行情况,审核了相关文件档案。专家组认为,该仪器现场运行正常,功能与技术指标达到了研制任务书要求;技术资料齐全,具有可追溯性和可复制性;单位自筹经费到位,经费使用合理。验收专家组一致同意该项目通过验收。

  该项目首次利用Ronchi光栅检验法,采用数字图像处理技术,研制出大口径非球面Ronchi光栅检测仪,解决了大口径非球面细磨、初抛光两道工序中在线检测的技术难题,实现了较大面形误差的定量测量。该设备结构合理,测试精度高,动态范围宽,克服了其它测试设备对环境要求极为苛刻的难题。该仪器的成功研制,填补了现有不同干涉仪在细磨后、初抛光前两道工序间的测量空白。在大口径非球面光学元件的加工中,通过使用该仪器,其后期加工效率可提高50%,同时可显著降低加工过程的风险。

图为 大口径非球面RONCHI光栅检测仪

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