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中山将打造光刻设备“航母”

2012-04-24 14:35
黯影冰风
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  日前,“广东省战略性新兴产业联盟(直写光刻机产业)”在中山正式成立。据了解,借助广东省战略性新兴产业联盟的支持,中山将着力发展直写光刻机产业,打造高速大面积光刻设备“航母”。拥有自主知识产权、40多项专利、设备价值2000多万一台的直写光刻机将在中山实现批量生产。

  据介绍,直写光刻机产业对电子信息产业和高端装备制造业起到强劲的技术创新推动作用。光刻机是集成电路、电路版、显示器等相关行业中的核心设备,发达国家在市场、技术研发、技术标准等多方面一直保持着对该行业的话语权。与发达国家相比,国内在光刻机产业的发展还面临许多技术和市场瓶颈。

  目前,依托中山五大支柱产业中的电子信息、机电机械和金属制品、装备制造业这三大近两千亿的产业,中山发展光刻机产业有深厚的产业基础。中山所建立的“广东省战略性新兴产业联盟(直写光刻机产业)”,将借这一带领行业技术创新时代尖端产品为龙头,面向一批主要的下游企业、金融业及研究院所。其中,新诺科技公司将成为产业的源头,据悉,新诺科技拥有一批长期在北美、日本和中国等地从事激光技术、半导体光刻设备研发的资深科学家和擅长管理的技术团队。

 

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