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日开发出耐准分子激光的人造水晶材料

2007-07-23 09:21
人在旅途20
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日本旭硝子与东京电波作为半导体曝光装置的镜头材料的开发商,共同开发出提高了耐激光性能的人造水晶材料。因光透射导致的劣化率可降至原来的1/5以下。有利于提高半导体曝光装置的精度和可靠性。

在使用准分子激光的曝光装置中,作为偏光消除板(把偏光转变为非偏光的元件)、波长板等偏光光学元件以及衍射镜等衍射光学元件的材料,人造水晶由于透过率高、价格便宜且易于加工被寄予厚望。但是,采用普通的水热合成法制成的人造水晶面临:长时间照射诸如准分子激光这样的波长短、输出功率高的光时,透过率等光学特性会产生劣化的问题。

此次通过将导致劣化的因素——多种杂质的含量控制在一定范围以内,改善了品质和性能。东京电波负责人造水晶的试制和生产,旭硝子负责研磨加工和评估。今后,旭硝子还将负责销售新开发的人造水晶材料。关于光刻材料的新产品,计划2007年度内上市。

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