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真空镀膜

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海洋薄膜推出SpectroCam多光谱成像仪

SpectroCam系列产品使用单独的宽频带电荷耦合元件,可测量光谱范围为紫外线到近红外波长。通过使用一套分离的应用型波长,SpectroCam能创造高分辨率的图像。

真空镀膜 | 2011-09-22 12:26 评论

KLA-Tencor扩充Aleris薄膜量测系列产品

KLA-Tencor近日推出Aleris 8310和Aleris 8350,这两款新机台采用KLA-Tencor最新一代的宽带光谱椭圆偏光法光学组件,让芯片制造商得以测量多层薄膜的厚度、折射率与应力,满足先进制程的薄膜度量要求。

真空镀膜 | 2008-02-15 11:49 评论
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