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几种常用的平面度测量方法及缺陷

导读: 平面度(flatness;planeness),是属于形位公差中的一种,指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。在传统的检测方法中,平面度的测量通常有:塞规/塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法(平晶干涉法)、水平仪/数字水平仪测量法、以及打表测量法。

  平面度(flatness;planeness),是属于形位公差中的一种,指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。在传统的检测方法中,平面度的测量通常有:塞规/塞尺测量法、液平面法、激光平面干涉仪测量法(平晶干涉法)、水平仪/数字水平仪测量法、以及打表测量法。

  塞尺测量法,只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高,常规最薄塞尺为10um,检测效率较低,结果不够全面,只能检测零件边缘。

  液平面法,基于连通器工作原理,适合测量连续或不连续的大平面的平面度,但测量时间长,且对温度敏感,仅适用于测量精度较低的平面。

  激光平面干涉仪测量法,最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量,如千分头测量面,量规的工作面,光学透镜。

  水平仪测量法,广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置,记录各测点的数据,费时、费力,调整时间长,数据处理程序繁琐。

  打表测量法,典型应用为平板测微仪及三坐标仪,其中优以三坐标仪为应用最广泛。测量时指示器在待测样品上移动,按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据,再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低,通常一个样品需要几分钟,离15ppm的期望相差甚远。

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