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我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列

导读: 日前通过相关单位组织的工艺考核。结果表明,该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破,其典型试验件的光学零件面形精度RMS(均方根)值达到0.361纳米,标志我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列。

  从国防科技大学获悉:由该校机电工程与自动化学院自主研制的新一代超精密光学零件加工设备,日前通过相关单位组织的工艺考核。结果表明,该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破,其典型试验件的光学零件面形精度RMS(均方根)值达到0.361纳米,标志我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列。

  超精密加工技术是先进装备制造的关键性瓶颈技术,纳米精度被誉为超精密加工技术“皇冠上的明珠”。过去,由于我国光学零件加工技术落后,无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工,严重制约相关领域的技术进步。20世纪80年代以来,该校精密工程创新团队在李圣怡教授率领下,经过30多年顽强拼搏与自主创新,先后突破高精度机床精密运动机构设计、高效磁流变抛光液配制、离子束稳定控制、光学元件亚纳米全频段误差控制等核心关键技术,研制出一系列具有自主知识产权的磁流变、离子束抛光设备,打破了发达国家对超精密加工设备的技术封锁,使我国成为继美、德之后全面掌握磁流变和离子束抛光装备两种高精度光学零件加工技术的国家。

  近年来,该校精密工程创新团队在“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”国家重大科技专项二期项目和国家自然科学基金重大项目支持下,研制成功新一代离子束抛光机床与数控光顺抛光机床,其最小可控材料去除量达到0.1纳米。有关专家指出,这一自主创新成果可为“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”、“高分辨率对地观测系统”等国家重大科技专项提供有力技术保障和装备支撑,将直接促进相关领域关键技术突破,对于提升我国先进装备制造水平具有重要意义。

 

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