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镌刻光电:中国光电研究院发展纪实

导读:  在“十一五”期间斩关夺巉,中科院光电院通过承担卫星导航、空间系统工程、浮空飞行器、光刻机准分子激光光源、大型复杂激光器、无人机遥感综合验证等,承接了一批国家级系统重大科研任务,形成一系列技术系统和学科方向,初步建立起总体性科研体系和运行机制,科研队伍和研保条件得到增强。

   从小到大谱写华章

  在“十一五”期间斩关夺巉,中科院光电院通过承担卫星导航、空间系统工程、浮空飞行器、光刻机准分子激光光源、大型复杂激光器、无人机遥感综合验证等,承接了一批国家级系统重大科研任务,形成一系列技术系统和学科方向,初步建立起总体性科研体系和运行机制,科研队伍和研保条件得到增强。

  “十二五”号角连营,光电院通过大量战略研究和规划论证,贯穿基础科研到工程型号研制不同发展阶段的科研工作,形成了既“站得高”——系统集成的总体,又“看得远”——面向未来的前沿研究,科技创新呈现充满活力的态势。

  在建设和运行之初,光电院光电工程部只承担少量科研项目,方向也不明确。通过参与相关的国家“十一五”规划的论证,以及后期自身的调研,既明确了激光显示技术作为研究方向,同时也跟踪简称02专项的国家重大专项的立项情况,盯准“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”,与国科激光公司合作开展激光器工程化和产业化研究,逐渐形成了投影光学研究方向及相应的学科点。

  光电院第二届领导班子成立后,相里斌院长提出:前瞻国际上的一个新兴的交叉学科,计算光学成像技术要做大做强,逐渐形成一支专业化的队伍;先进激光器技术的研发和产业化工作要继续跟进,取得更大的进展。

  2010年底,光电院对光电工程部进行重组,明确了计算光学成像技术、投影光学技术、半导体泵浦激光技术为三个主要研究方向,共同构成光电院的光电工程科技领域,奋力开拓、攻克、挺进。

  开拓!开拓!如计算光学成像技术面向新型光学成像探测技术需求,结合工程光学、信息光学、信号与信息处理前沿技术,开展新型计算光学成像等新概念系统的理论与技术探索研究。重点开展计算光谱成像、计算光场成像、相干场成像和超分辨成像等方向的研究。

  攻克!攻克!如投影光学技术及应用,组织开展光刻机准分子光源、曝光系统和检测系统等关键技术和系统集成技术研究,建设准分子激光器关键部件研发及集成测试平台等,推进其工程化和应用的发展。持续开展激光显示关键技术和共性技术研发,推进激光显示工程化、产业化发展。

  挺进!挺进!如大型复杂激光器技术,开展大型复杂激光器系统的设计、装校和调试技术,新型全固体激光器、激光放大器的研究,建立相关研发与测试平台,推进其工程化和产业化发展。

  在2005年之前,中国的先进光刻机一家都没有。光电院从“十五”末开始作为总体,组织近十家科研机构进行攻关研制。其中,光刻用准分子激光器是激光器中的极高端产品,是“摩尔定律生命不竭之源”。光电院承担了光刻准分子激光的攻关任务,取得的每一个阶段性成果都属于国内首创。

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