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科研产业化:自主研发无掩模光刻设备寻求对接

导读: 广东省经济和信息化委员会9月19日在广东省中山市举办2014年广东省科技成果与产业对接专题活动——无掩模光刻设备新产品应用对接。无掩模光刻设备是由中山新诺研发团队自主研发的、在世界上首次使用无掩模激光直接成像技术制造高精度量产型的光刻设备。

   广东省经济和信息化委员会9月19日在广东省中山市举办2014年广东省科技成果与产业对接专题活动——无掩模光刻设备新产品应用对接。广东省经济和信息化委员会副主任邹生、中山市副市长杨文龙出席并致辞。

  邹生指出,广东省经济和信息化委一直致力于推动企业技术创新工作,促进科技成果应用推广和产业化;将通过向企业推广最新的、具有自主知识产权的核心技术和成果,搭建更有效的科技成果与产业沟通的桥梁和平台。

  在对接活动上,中山新诺科技股份有限公司作无掩模光刻新产品和新技术介绍。设备应用客户分享了设备使用情况,参会企业代表参观了新诺公司及设备应用客户中山达进公司现场,并就光刻设备新技术进行研讨。活动期间,新诺公司还分别与新加坡立信公司等4家企业签订光刻设备供应合同。

  本次无掩模光刻设备新产品应用对接活动是2014年广东省科技成果与产业对接系列活动的首场专题对接活动。今年9至12月期间,还将陆续举办综合对接活动和多场专题对接活动,促进新技术、新成果加快推广应用,加快科技成果产业化。

  无掩模光刻设备是由中山新诺研发团队自主研发的、在世界上首次使用无掩模激光直接成像技术制造高精度量产型的光刻设备。目前已成功开发出了用于高端PCB行业、平板显示行业、半导体封装行业量产型、系列化激光直接曝光LDI光刻设备,相关高端光刻设备已出口欧美等发达国家。

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