侵权投诉
当前位置:

OFweek光学网

光学仪器设备

正文

3D芯片时代:光学检测设备应用空间扩大

导读: 到了3D晶片时代,矽钻孔(TSV)、微凸块(micro bumping)等半导体制程技术越趋复杂,每一道程式的精密控制均开出新的检测需求。

  美商陆得斯科技(Rudolph Technologies, Inc.)指出,到了3D晶片时代,矽钻孔(TSV)、微凸块(micro bumping)等半导体制程技术越趋复杂,每一道程式的精密控制均开出新的检测需求,预料光学检测设备扮演角色依旧吃重,甚至将自表面量测等现行主流用途,开展出更大应用空间。

  光学检测作为制程式控制制(process control)的重要环节,无论是在半导体前段抑或后段制程,都扮演着决定成品可靠度的重要关键。随着3D晶片时代箭在弦上,不仅晶片尺寸缩微,制程也更加精密,自动光学检测(AOI)设备在半导体前、后段制程扮演的角色亦再获讨论。

  在半导体后段的先进封装领域,包括锡球凸块、铜柱凸块的高度不断缩减,光学检测设备精密度亦需与时俱进;随着先进制程与封装技术的快速演进,半导体2.5D与3D晶片的技术蓝图越来越清晰,更为光学检测设备的应用创造出更多的可能。

  美商陆得斯科技指出,扇出型晶圆级封装(Fan-out Wafer Level Packaging)同时解决晶片制造成本与封装体积的问题,已逐渐成为缩减晶片封装体尺寸的显学;而采用面板尺寸(panel size)的扇出型晶圆级封装(Fan-out WLP)技术持续演进,更衍生出晶片精准对位的需求,至此,光学检测已经不再只是单纯的缺陷检出工具。

  而随着TSV(矽钻孔)技术渐趋成熟,陆得斯科技也看好,包括钻孔、微凸块、边缘削减(edge trimming)、背磨(back grinding)等加工程式,由于牵系着晶片可靠度的成败,精密量测将带动新的光学检测需求,3D晶片发展趋势不仅不会造成光学检测无能为力的状况,反而将成就光学检测从现行的表面量测等现行主流用途,开展出更大应用空间。

  另一厢,日系设备商东丽工程(Toray Engineering)亦指出,为了因应晶片接脚数提升、凸块体积势将缩小,晶片衔接点往微凸块(micro bump)技术演进的趋势正在飞快加速,要确保晶片运作无碍,在制程式控制制流程中的光学检测仪器将更加不可或缺,也为检测设备商带来新的商机。

 

声明: 本文由入驻OFweek公众平台的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

我来说两句

(共0条评论,0人参与)

请输入评论

请输入评论/评论长度6~500个字

您提交的评论过于频繁,请输入验证码继续

暂无评论

暂无评论

最新活动更多 >>
  • 激光工程
  • 研发工程
  • 光学工程
  • 猎头职位
更多
文章纠错
x
*文字标题:
*纠错内容:
联系邮箱:
*验 证 码: