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海洋光学NanoCalc系统可实现精确的薄膜分析

导读: 海洋光学的NanoCalc系统利用了光谱反射测量技术,为半导体、医疗和工业环境领域的客户光学薄膜厚度的精确测量。

  海洋光学的NanoCalc系统利用了光谱反射测量技术,为半导体、医疗和工业环境领域的客户光学薄膜厚度的精确测量。新款预配置NanoCalc系统面向客户及新型应用,适合深紫外到近红外波段的检测。

  NanoCalc系统适用于多种波长、多种采样方式以及光学厚度(1.0nm-250μm)要求。用户可以在4种标准型号中(涵盖~200-1700nm)做出选择,并且将它们与软件、反射探头、光纤和各种附件整合到一起。对于可见光谱(400-850nm)或者紫外可见光谱(250-1050nm)的应用,用户可以通过选择预配置的系统,使操作更加便利。这个预配置的系统包括NanoCalc,反射探头、样品台、标准台阶膜厚Si-SiO2晶片以及可以分析10层薄膜的软件。

  为了满足要求更高的应用环境,NanoCalc系统可以与大量的扩展软件、光纤以及诸如扫描平台、显微镜和微光斑聚焦装置等测量附件一同使用。

  在减反射硬质涂层、太阳能电池板上的非晶硅、OLED显示面板、光刻胶等膜厚测量领域,NanoCalc系统将发挥尤为重要的作用。

  客户定制的NanoCalc系统还可以在现场、多点或者真空测量中实现附加的用户控制。用户可以自由选择合适的光纤组件或者反射探头。此外,用户还可以通过其他软件或者是利用软件附加功能(包括远程控制、在线控制、扫描以及多层测量)控制NanoCalc的功能。

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