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牛尾电机上市仅厚4.9mm的紫外线照度计

导读: 牛尾电机在2011年12月7日上市了厚度为4.9mm的紫外线(UV)照度计“UIT-θ365”。

  牛尾电机在2011年12月7日上市了厚度为4.9mm的紫外线(UV)照度计“UIT-θ365”。

  在半导体、液晶面板和电子部件等的制造工艺及UV印刷工序中,光刻胶和油墨的硬化、精密部件和镜头的粘结以及光学薄膜的涂布等均通过UV进行,因此需要定期进行UV照度管理以保证质量。但是,由于装置条件和照射环境的关系,有时难以进行测量。据牛尾电机介绍,尤其是在光学薄膜制造和精密部件粘连工序中存在以下课题。

  光学薄膜

  以提高生产效率为目的加长薄膜宽度的同时,UV照射面积也会逐渐增大。UV照射量的不均会使质量参差不齐并降低质量,这在原来的小尺寸薄膜中并不会造成影响,为防止出现上述问题需要进行UV照度管理。但是,制造装置的开口部(放入薄膜的部位)存在高度限制,而且光源部和薄膜间的照射距离较窄,因此照度计的厚度问题导致测量难以进行。

牛尾电机开发的紫外线照度计

图为 牛尾电机开发的紫外线照度计

  精密部件粘连

  为了在极小面积上进行高密度粘连,牛尾电机通过使光源部和照射对象物靠近来维持较高的UV照度,因此需要定期进行UV照度管理。目前,光源部和照射对象物之间的照射距离较窄,因此需要扩大照射距离进行测量。但是,由于与实际照射条件(距离和角度等)存在差异,因此难以准确测量,而且每次测量时需要重新调整照射条件。

  针对上述课题,牛尾电机通过利用主要在半导体和液晶面板制造领域培育的UV测量技术,开发出了厚度仅为4.9mm的无线紫外线照度计。不管高度限制和照射距离等照射条件如何,都可以在与实际制造时相同的条件下测量和管理UV照度。

  新产品的绝对值校准波长为365nm,灵敏度波长为345nm~385nm。外形尺寸为90mm(带U盘盖时为91mm)×25mm×4.9mm,重量为25g。牛尾电机已经在2011年12月7日~12月9日于幕张Messe会展中心举行的“Semicon Japan 2011”上展出。

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